第九章 光刻胶研发遇阻，生日夜的温柔守护与巨头试探
2009年3月，江城的春意愈发浓郁，星源科技新落成的半导体研发中心内，却是一片紧绷的氛围。光刻胶研发小组成立已满一周，李教授带领团队按照系统提供的基础方案，尝试合成用于28nm制程的紫外光刻胶，却连续遭遇两次关键失败，核心指标感光灵敏度始终达不到150mJ/cm²的最低要求。
“问题出在感光树脂的分子量分布上。”李教授指着凝胶渗透色谱（GPC）测试曲线，眉头拧成了疙瘩，“我们采用自由基聚合工艺合成的聚羟基苯乙烯树脂，分子量分散度（PDI）高达2.3，而理想值必须控制在1.5以下。分散度过大，会导致光刻胶曝光后图形分辨率不足，边缘出现锯齿状缺陷。”
陈凡站在实验台旁，手中捏着一份系统提供的工艺优化文档，目光落在“原子转移自由基聚合（ATRP）”技术上。“传统自由基聚合无法精准控制分子量，我们得换工艺。ATRP法能实现活性聚合，通过调节引发剂与催化剂比例，可将PDI控制在1.2-1.4之间，完全符合要求。”
赵磊立刻打开电脑，调出ATRP工艺的相关文献：“但ATRP法对反应条件要求极高，反应温度需稳定在80±0.5℃，催化剂选用溴化铜与联吡啶络合物，而且需要严格无氧环境，咱们实验室的手套箱真空度能达标吗？”
“我去协调。”苏清月接过话头，“化学系有一台进口手套箱，真空度可达10⁻⁵Pa，我联系导师申请共享，明天就能启用。另外，我已经订购了高纯度的溴化铜和联吡啶，后天就能到货。”
团队立刻调整方案，由李教授负责设计ATRP反应配方，赵磊编写温度与压力实时监控程序，苏清月筹备实验设备与耗材，陈凡则主导工艺参数的优化。连续三天，半导体研发中心的灯光彻夜未熄，每个人都沉浸在高强度的研发中。
光刻胶研发的关键突破与意外插曲
第四天清晨，第一批次采用ATRP法合成的聚羟基苯乙烯树脂样品出炉。苏清月将样品送入GPC测试仪，所有人都围在仪器旁，屏息等待结果。当屏幕上显示出PDI=1.32的数值时，研发小组爆发出压抑已久的欢呼声。
“树脂合格了！接下来进行感光剂与添加剂的复配。”李教授精神一振，带领团队将树脂与二叠氮化合物感光剂、三乙胺抑制剂按精准比例混合，在氮气保护下搅拌6小时，得到了淡黄色的光刻胶原液。
接下来是涂胶与曝光测试。苏清月用旋转涂胶机将光刻胶均匀涂覆在硅片表面，膜厚控制在1.2μm，经100℃前烘30分钟后，送入紫外光刻机进行曝光。曝光剂量从100mJ/cm²逐步提升至150mJ/cm²，随后用四甲基氢氧化铵（TMAH）显影液进行显影。
当硅片从显影液中取出时，显微镜下的图形让所有人都皱起了眉头——线条边缘虽然比之前整齐了许多，但出现了明显的“桥连”现象，相邻的线条粘在一起，无法形成清晰的电路图案。
“是感光剂浓度过高，导致曝光后交联过度。”陈凡指着显微镜图像，“我们需要降低感光剂比例，同时调整曝光剂量与显影时间。”
就在团队准备调整配方时，苏清月突然感到一阵眩晕，扶着实验台才勉强站稳。陈凡立刻上前扶住她，发现她脸色苍白，额头沁出细密的汗珠。“你太累了，连续熬了三天，必须回去休息。”
“没关系，再坚持一下，马上就能出结果了。”苏清月摇摇头，想要继续操作，却被陈凡强行按住肩膀。
“听我的，现在就回去休息，这里有我们。”陈凡的语气不容置疑，转头对王胖子说，“胖子，你送清月回去，顺便给她带点清淡的食物。”
王胖子点点头，扶着苏清月走出研发中心。看着两人离去的背影，李教授叹了口气：“苏同学太拼了，这几天每天只睡四个小时，换谁都扛不住。”陈凡心中一阵心疼，暗暗告诉自己，等忙完这阵子，一定要好好补偿她。
送走苏清月后，团队重新调整光刻胶配方，将感光剂比例从8%降至6%，曝光剂量调整为140mJ/cm²，显影时间延长至60秒。当新一批样品显影完成后，显微镜下终于出现了清晰的500nm线条图案，边缘光滑，无桥连、无缺损，感光灵敏度达到145mJ/cm²，完全满足28nm制程的要求。
“成功了！”赵磊激动地挥舞着拳头，研发中心里再次响起欢呼声。陈凡看着测试数据，脸上露出了笑容，但心中却牵挂着苏清月，简单交代了后续工作后，便匆匆赶了回去。
生日夜的温柔守护
陈凡赶到苏清月的出租屋时，她正靠在沙发上休息，脸色比之前好了一些。看到陈凡进来，苏清月露出了温柔的笑容：“实验成功了吗？”
“成功了，多亏了你前期的准备。”陈凡坐在她身边，伸手探了探她的额头，确认没有发烧，才松了口气，“怎么不早点休息？身体要紧。”
“想着早点把实验做完，没想到反而拖了后腿。”苏清月有些自责地说道。
“傻丫头，你已经做得很好了。”陈凡从背包里拿出一个包装精美的礼盒，“给你的，生日快乐。”
苏清月愣住了：“你怎么知道今天是我生日？”
“上次团建的时候，我听到你和同事聊天提到过。”陈凡笑了笑，“本来想给你一个惊喜，没想到赶上你身体不舒服。”
苏清月打开礼盒，里面是一条银色的项链，吊坠是一个小巧的芯片造型，上面刻着“星源”两个字。“太好看了，谢谢你，陈凡。”苏清月眼中闪着泪光，伸手抱住了陈凡。
陈凡轻轻回抱住她，感受着她柔软的身躯，心中满是温柔。“以后不许这么拼了，你的健康比什么都重要。”他在她耳边轻声说道。
“嗯。”苏清月点点头，将头埋在陈凡的肩膀上，感受着他带来的安全感。
陈凡起身走进厨房，系上围裙，开始准备晚餐。他的厨艺不算精湛，但做几道家常菜还是没问题的。洗菜、切菜、炒菜，动作有条不紊。苏清月靠在厨房门口，看着陈凡忙碌的身影，脸上洋溢着幸福的笑容。
不一会儿，四菜一汤就端上了桌：番茄炒蛋、清炒时蔬、可乐鸡翅、清蒸鱼，还有一碗暖暖的鸡汤。“尝尝我的手艺，不知道合不合你的胃口。”陈凡有些不好意思地说道。
苏清月夹了一块鸡翅放进嘴里，味道虽然不算惊艳，但却充满了家的温暖。“很好吃，谢谢你，陈凡。这是我过得最有意义的一个生日。”
两人边吃边聊，从科研聊到生活，从过去聊到未来。陈凡说起了自己重生前的遗憾，说起了爷爷的期望；苏清月则说起了自己对科研的热爱，说起了想要和陈凡一起为国家科技事业奋斗的心愿。
晚饭后，陈凡帮苏清月收拾好碗筷，又给她煮了一杯红糖姜茶。“早点休息，明天我来接你上班。”陈凡摸了摸她的头，轻声说道。
“嗯，你也早点回去休息。”苏清月送陈凡到门口，在他脸颊上轻轻亲了一下，然后红着脸关上了门。
陈凡摸了摸被亲吻的脸颊，脸上露出了幸福的笑容。他知道，这份感情来之不易，他会好好珍惜。而这个生日夜的温柔守护，也成为了两人感情中最珍贵的回忆。
国外巨头的警惕与试探
星源科技在半导体领域的动作，很快引起了国外巨头的注意。全球光刻胶龙头企业日本信越化学，通过其在中国的分公司，对星源科技进行了初步调查。
信越化学东亚区总裁山田一郎，在收到下属的报告后，脸色变得凝重起来。“星源科技在锂电池领域打破了松下和三星的垄断，现在又进军半导体材料，而且仅仅一周就取得了紫外光刻胶的初步突破，这个团队不简单。”
“总裁，我们要不要采取一些措施？比如联合其他企业进行技术封锁，或者低价倾销，打压星源科技的研发积极性。”下属建议道。
山田一郎摇了摇头：“现在还不是时候。星源科技的光刻胶还处于实验室阶段，距离量产还有很长的路要走。我们先进行试探，看看他们的技术实力到底如何。”
几天后，星源科技收到了一封来自信越化学的邮件，对方表示希望能与星源科技进行技术交流，并提出了合作意向，想要共同研发新一代光刻胶。
陈凡看着邮件，嘴角勾起一抹冷笑：“信越化学这是想打探我们的底细啊。”
张晨说道：“他们肯定是感受到了威胁，想要通过合作来了解我们的技术方案，甚至可能想趁机窃取我们的核心技术。”
“合作可以，但必须掌握主动权。”陈凡沉吟道，“我们可以同意技术交流，但只展示一些基础数据，核心工艺绝对不能泄露。同时，我们可以提出让信越化学提供光刻胶的生产设备和技术支持，看看他们的反应。”
赵磊补充道：“我可以在交流时，故意展示一些看似先进但存在缺陷的技术方案，误导他们，让他们以为我们的技术还不够成熟。”
“好主意。”陈凡拍板决定，“回复信越化学，同意进行技术交流，时间定在下周，地点就在我们的半导体研发中心。同时，做好保密工作，核心实验数据和设备全部封存，只开放基础实验室。”
一场没有硝烟的战争，即将打响。陈凡知道，信越化学的试探只是开始，未来还会有更多的国外巨头来打压、来围剿。但他无所畏惧，因为他有强大的团队，有领先时代的技术，更有坚定的信念。
星源科技的光刻胶研发，已经取得了初步突破。接下来，团队将继续优化配方，推进中试，争取早日实现量产。而陈凡和苏清月的感情，也在这段奋斗的岁月里，愈发深厚。未来，他们将携手面对更多的挑战，用科技的力量，打破国外的垄断，助力国家实现科技强国的梦想。
